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基于光强自标定移相算法检测光学面形
基于光强自标定移相算法检测光学面形
作者:
刘江
曲艺
杨怀江
苗二龙
隋永新
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
菲佐干涉仪
波长移相
移相算法
光强自标定
面形检测
摘要:
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法.首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法.最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复.结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复.对口径为100 mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ.与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ.得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性.
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系统标定
机械惯导
光学惯导
基于系统标定理论的斜置光学惯导标定算法研究
系统标定
斜置
光学惯导
内容分析
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相关学者/机构
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内容分析
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(/年)
文献信息
篇名
基于光强自标定移相算法检测光学面形
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
菲佐干涉仪
波长移相
移相算法
光强自标定
面形检测
年,卷(期)
2014,(8)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
2007-2013
页数
7页
分类号
TH744.3
字数
2533字
语种
中文
DOI
10.3788/OPE.20142208.2007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
曲艺
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
32
256
10.0
15.0
2
杨怀江
8
63
6.0
7.0
5
隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
71
495
11.0
19.0
9
刘江
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
36
769
13.0
27.0
13
苗二龙
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
18
37
4.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
引文网络
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共引文献
(41)
参考文献
(12)
节点文献
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同被引文献
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二级引证文献(8)
2020(3)
引证文献(1)
二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
菲佐干涉仪
波长移相
移相算法
光强自标定
面形检测
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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