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摘要:
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法.首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法.最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复.结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复.对口径为100 mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ.与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ.得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性.
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文献信息
篇名 基于光强自标定移相算法检测光学面形
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词 菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测
年,卷(期) 2014,(8) 所属期刊栏目 现代应用光学
研究方向 页码范围 2007-2013
页数 7页 分类号 TH744.3
字数 2533字 语种 中文
DOI 10.3788/OPE.20142208.2007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 曲艺 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 32 256 10.0 15.0
2 杨怀江 8 63 6.0 7.0
5 隋永新 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 71 495 11.0 19.0
9 刘江 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 36 769 13.0 27.0
13 苗二龙 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 18 37 4.0 6.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
菲佐干涉仪
波长移相
移相算法
光强自标定
面形检测
研究起点
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期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
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