离子注入机设备和工艺质量改进

• 作者: 刘志民
• 来源期刊: 中国电子商情：科技创新
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 质量改进 工艺 设备 改性技术 制造行业 半导体制造 原子物理
• 年，卷（期）: 2013,（18）
• 页码范围: 65
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.3
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘志民		1	0	0.0	0.0