聚合物双层微悬臂梁的温度敏感特性研究

• 作者: 奥顿 白英良 雷飞 韩立
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 农学
• 关键词: 微模 聚合物微悬臂梁 温度 线性关系
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: S951
• 字数: 1303字
• 语种: 中文

摘要

利用微塑模技术和镀膜技术制作了一种双层聚合物悬臂梁,基于聚合物和金2种材料膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过光杠杆放大由位置敏感探测器(PSD)进行检测.理论计算和实验结果表明:在聚合物悬臂梁处于玻璃态下,输出电压与温度呈线性关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	雷飞		28	142	7.0	10.0
3	奥顿		6	27	3.0	5.0
4	白英良		7	17	2.0	4.0