集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术

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作者：

姬小兵裴志伟

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Host

SEMI

HSMS

TRACE

SQL Server

摘要：

介绍了集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术的实现方法,多个Host服务分区域管理生产线中的设备,遵循SEMI相关标准,与生产线设备建立通讯链路,采用周期订阅的方式采集Host服务所管控的区域设备数据,并将采集数据存储于远程SQL Server数据服务器进行数据集成.

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篇名	集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术
来源期刊	工业控制计算机	学科
关键词	Host SEMI HSMS TRACE SQL Server
年，卷（期）	2013,（12）	所属期刊栏目	数据采集与通信
研究方向		页码范围	106-107
页数	2页	分类号
字数	2432字	语种	中文
DOI

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姬小兵		6	3	1.0	1.0
2	裴志伟		2	0	0.0	0.0