集成电路失效分析新技术

• 作者: 费庆宇
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 集成电路 失效分析 无损分析
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN43.06
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2005.04.001

摘要

通过实例综述了目前国内集成电路失效分析技术的现状和发展方向,包括:无损失效分析技术、信号寻迹技术、二次效应技术、样品制备技术和背面失效定位技术,为进一步开展这方面的工作提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	费庆宇		5	31	2.0	5.0