初应力对压电薄膜体声波谐振器厚度拉伸模态谐振特性的影响

• 作者: 王骥 罗昕逸 黄德进
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 初应力 谐振频率 带宽 有效机电耦合系数
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 146-148,156
• 页数: 4页
• 分类号: TN015|TN713|TN752
• 字数: 2174字
• 语种: 中文

摘要

研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解.得到串联和并联谐振频率,并给出具体的数值算例,讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄德进	宁波大学机械工程和力学学院	12	94	6.0	9.0
2	王骥	宁波大学机械工程和力学学院	28	62	5.0	6.0
3	罗昕逸	宁波大学机械工程和力学学院	2	1	1.0	1.0