大数值孔径极紫外光刻物镜设计

• 作者: 张光伟 张欣婷
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计 极紫外光刻 大数值孔径 环形视场
• 年，卷（期）: 2013,（32）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 9619-9621,9640
• 页数: 4页
• 分类号: O435.2
• 字数: 2360字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种大数值孔径、高分辨率的环形视场极紫外光刻物镜.以环形视场两镜系统的设计理论为基础,推导了相关参数的计算公式;并由此推广到六反射镜系统.该系统采用六枚非球面反射镜,利用环形视场避开普通反射系统的中心遮拦,并通过对分辨率的计算,实现了NA =0.3的大数值孔径.各视场的残余波像差的均方根半径RMS均小于0.02λ,相对畸变小于1％,在线视场220 mm处的传递函数达到衍射极限,可实现22 nm及以下节点的光刻技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张欣婷	长春理工大学光电工程学院	36	52	4.0	5.0
2	张光伟	长春理工大学光电工程学院	5	5	1.0	2.0