浅析光学薄膜表面微细缺陷在线检测方法

• 作者: 王真
• 来源期刊: 科技创业家
• 关键词: 光学薄膜表面 微细缺陷 在线检测方法
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 127-127
• 页数: 1页
• 字数: 1680字
• 语种: 中文

摘要

对于光学薄膜而言，表面微细缺陷是常见的质量问题，同时又是影响其外观及功能的一个主要问题。由于人工检测的种种缺陷，探寻一种高效的自动在线检测方法已经成为当下的迫切需要。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王真		1	0	0.0	0.0