热处理温度对溶胶-凝胶法制备的Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 张曰理 阳生红
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 3％ Co掺杂CeO2薄膜 溶胶-凝胶法 光学性质
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 146-149
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4|TN304
• 字数: 2287字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法,在Si (100)衬底上制备了3％ Co掺杂CeO2薄膜,研究了不同热处理温度对Ce0.97Co0.03O2薄膜结构和光学性质的影响.X射线衍射(XRD)表明,3％ Co掺杂CeO2薄膜为多晶薄膜,且未破坏CeO2原有的结构,随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大.椭偏光谱法研究表明,Ce0.97Co0.03O2薄膜的光学常数(折射率n、消光系数k)随着退火温度增加而增大,光学带隙Eg随退火温度增加而减小,这是薄膜结构随退火温度增加发生变化所致.