氧化铟锡透明导电电极的刻蚀研究

• 作者: 周化岚 李小慧 翟莲娜 陈亮 顾哲明
• 来源期刊: 腐蚀科学与防护技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铟锡(ITO) 湿法刻蚀 丝网印刷
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

研制了一种可用于氧化铟锡(ITO)透明电极的刻蚀液,研究了其刻蚀效果,并推断刻蚀机理.选用不同pH值的FeCl3水溶液作为刻蚀功能成分,将PEG10000作为介质,以气相SiO2为触变剂制备刻蚀液,用丝网印刷法对ITO电极进行刻蚀实验,研究了不同刻蚀条件对刻蚀效果及ITO电极体积电阻率的影响.结果表明,pH值为1.67时,于80℃,90 min后ITO薄膜的刻蚀效果最优.通过EDS表征ITO电极元素的变化,用原子力显微镜(AFM)观察电极微观形貌的变化.