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抛光工艺对AlN多层基板表面状况影响的研究
抛光工艺对AlN多层基板表面状况影响的研究
作者:
王宁
雷跃文
高磊
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AlN多层基板
化学机械抛光
通孔高度
粗糙度
摘要:
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篇名
抛光工艺对AlN多层基板表面状况影响的研究
来源期刊
混合微电子技术
学科
工学
关键词
AlN多层基板
化学机械抛光
通孔高度
粗糙度
年,卷(期)
2014,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
27-31
页数
5页
分类号
TQ050
字数
语种
中文
DOI
五维指标
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序号
姓名
单位
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被引次数
H指数
G指数
1
雷跃文
7
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1.0
2.0
2
王宁
40
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4.0
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高磊
8
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化学机械抛光
通孔高度
粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
混合微电子技术
主办单位:
中国电子集团公司第四十三研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
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创刊时间:
语种:
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1458
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