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摘要:
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TiN/AlN纳米多层膜的研究
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成本
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表面粗糙度
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硅溶胶
磨料
硬盘
化学机械抛光
去除速率
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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(/年)
文献信息
篇名 抛光工艺对AlN多层基板表面状况影响的研究
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 AlN多层基板 化学机械抛光 通孔高度 粗糙度
年,卷(期) 2014,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 27-31
页数 5页 分类号 TQ050
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 雷跃文 7 7 1.0 2.0
2 王宁 40 51 4.0 6.0
3 高磊 8 23 1.0 4.0
传播情况
(/次)
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
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节点文献
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2014(0)
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研究主题发展历程
节点文献
AlN多层基板
化学机械抛光
通孔高度
粗糙度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
总下载数(次)
46
总被引数(次)
0
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