多晶硅还原炉底盘温度场均匀性分析

• 作者: 崔萌 张芳 王晓静
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅还原炉 底盘 温度场 均匀系数
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 信息技术应用
• 页码范围: 160-163
• 页数: 4页
• 分类号: TK175
• 字数: 2652字
• 语种: 中文

摘要

针对一种24对棒多晶硅还原炉底盘的冷却模式,应用Fluent对多晶硅还原炉底盘内流体进行模拟分析,得出底盘的上花板温度分布图,并引入平均算数温度和均匀系数的概念分析底盘温度场的均匀性.总结概括出温度场均匀性分布随冷却液进口流量的变化趋势,提出判别温度场均匀化的判据,提供合适的流量参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓静	天津大学化工学院	73	239	7.0	12.0
2	张芳	天津大学化工学院	27	263	9.0	15.0
3	崔萌	天津大学化工学院	6	58	3.0	6.0