可伐合金处理工艺对微晶玻璃-金属封装外壳可靠性的影响

• 作者: 许丽清 陈宇宁
• 来源期刊: 工业技术创新
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶玻璃-金属外壳 可伐合金 可靠性
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 技术及创新
• 页码范围: 400-404
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.94
• 字数: 3922字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14103/j.issn.2095-8412.2014.04.003

摘要

采用可伐合金和微晶玻璃匹配封装实现的微晶玻璃-金属封装外壳具备气密性好、可靠性高的特点，目前广泛应用于高可靠性微电子封装中，但此类外壳在使用过程中最常出现的可靠性失效类型主要为慢漏气造成的气密性失效和金属引线的延迟性断裂（俗称“断腿”）失效。本文综述了可伐合金处理工艺包括脱碳处理、预氧化和熔封对外壳气密性和抗盐雾能力的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许丽清		3	5	2.0	2.0
2	陈宇宁		3	5	2.0	2.0