Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响

• 作者: 何代华 刘平 刘新宽 李伟 王建鹏 陈小红 马凤仓
• 来源期刊: 中国有色金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrN/TiSiN纳米多层膜 Si含量 显微结构 力学性能 外延生长
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 功能材料
• 页码范围: 739-744
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 4065字
• 语种: 中文

摘要

采用不同Si含量的TiSi复合靶和Cr靶,用射频磁控溅射工艺在Si基底片上沉积不同Si含量的CrN/TiSiN纳米多层膜.采用X射线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究Si含量对CrN/TiSiN纳米多层膜显微结构和力学性能的影响.结果表明:随着Si含量的增加,CrN相的结晶程度先增加后降低,涂层的力学性能先提高后降低,当n(Si)∶n(Ti)=7∶18时获得最高硬度为31.5GPa.HRTEM观测表明,在n(Si)∶n(Ti)=7∶18时,TiSiN层在CrN层的模板作用下呈面心立方结构,并且与CrN层形成共格外延生长结构;当n(Si)∶n(Ti)=11∶14时,TiSiN层总体呈非晶结构,与CrN层的共格外生长结构被破坏.硬度的升高主要与TiSiN与CrN形成共格外延生长结构有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘平	上海理工大学材料科学与工程学院	212	1078	16.0	22.0
2	陈小红	上海理工大学材料科学与工程学院	123	622	13.0	18.0
3	李伟	上海理工大学材料科学与工程学院	131	544	12.0	19.0
4	马凤仓	上海理工大学材料科学与工程学院	109	494	12.0	18.0
5	刘新宽	上海理工大学材料科学与工程学院	137	518	12.0	18.0
6	何代华	上海理工大学材料科学与工程学院	66	203	8.0	12.0
7	王建鹏	上海理工大学机械工程学院	1	7	1.0	1.0