偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析

• 作者: 姜伟 左昊诚 张鸣 王婧
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 精密运动平台 偏心驱动 偏心率 建模 设计准则
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 机械制造与研究
• 页码范围: 11-13,27
• 页数: 4页
• 分类号: TH138
• 字数: 2197字
• 语种: 中文

摘要

为了降低偏心驱动对气浮支承精密运动平台的精度和稳定性的影响,建立了偏心驱动下运动平台的理论分析模型.采用无量纲的偏心率表征驱动力位置和检测位置的偏心,分析了偏心率对系统稳定性和精度的影响规律.根据实际精度和稳定性指标要求,提出了偏心率设计准则,即在设计精度决定的控制带宽下,保证合理的稳定性裕度,偏航和俯仰方向偏心率的控制范围.所提方法已用于气浮支承精密运动平台的设计,试验结果表明运动平台的位置跟踪误差在设计要求内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鸣	清华大学精密仪器与机械学系	31	335	10.0	17.0
2	姜伟	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	18	82	5.0	8.0
3	王婧	清华大学精密仪器与机械学系	12	20	3.0	4.0
4	左昊诚	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	2	3	1.0	1.0