MEMS磁力线聚集和垂动调制磁场传感器

• 作者: 潘孟春 田武刚 胡佳飞 胡靖华 赵建强
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 1/f噪声 调制效率 磁力线聚集器 磁场传感器 微机电系统
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程?控制科学与工程
• 页码范围: 129-133,168
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.13
• 字数: 3010字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201404022

摘要

针对巨磁阻和磁隧道结等磁阻元件的1/f噪声，提出一种采用微机电系统的磁力线聚集和垂动调制磁场传感器。通过将被测磁场从低频转移到几kHz，实现对磁场的DC/AC转化，从而减小了磁阻元件的1/f噪声。基于该方案采用多层膜巨磁阻元件AA002制作了磁场传感器样品，并进行了实验测试，结果表明：磁传感器样品的调制效率达到了19．3％，超过了已有的其他各种调制方案，同时低频磁场的探测能力达到槡120pT/Hz，相比巨磁阻元件AA002提高了40多倍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘孟春	国防科技大学机电工程与自动化学院	150	1381	19.0	30.0
2	胡佳飞	国防科技大学机电工程与自动化学院	7	22	4.0	4.0
3	赵建强	国防科技大学机电工程与自动化学院	7	26	4.0	5.0
4	田武刚	国防科技大学机电工程与自动化学院	18	93	6.0	8.0
5	胡靖华	国防科技大学机电工程与自动化学院	2	5	1.0	2.0