温度对半导体封装设备光学系统的影响

• 作者: 于丽娜 田志 蒋云龙
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 温度 半导体设备 光学系统
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TP312.8
• 字数: 2186字
• 语种: 中文

摘要

分析了半导体设备温度变化对其光学系统的影响，以某半导体设备光学系统为例阐述并指出了此影响对生产造成的危害。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于丽娜	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	24	3.0	4.0
2	蒋云龙	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	9	2.0	3.0
3	田志	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	4	1.0	2.0