几种常用光学方法测量薄膜厚度设计

• 作者: 吴荣琴 杨文琴 苏宝玺
• 来源期刊: 长春师范学院学报：自然科学版
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 光学测量方法 实验教学
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: O431

摘要

随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法层出不穷,准确测量薄膜的厚度和光学常数在薄膜的制备和应用中起着关键的作用,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。本文通过对薄膜的光学测量方法进行归类,列举其中一些测量方法在教学中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨文琴	福建师范大学闽南科技学院	24	153	7.0	11.0
2	吴荣琴	福建师范大学闽南科技学院	6	5	2.0	2.0
3	苏宝玺	福建师范大学闽南科技学院	11	10	2.0	2.0