氧化法热处理温度对氧化钒薄膜热敏特性的影响

• 作者: 乔亚 凌永顺 唐聪 徐凯 路远
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化钒 氧化法 热处理温度 热敏特性
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 649-652
• 分类号: TB381
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法制备氧化钒薄膜,并采用不同的温度对其进行氧化法热处理,通过XRD、SEM、四探针薄膜电阻测试,分析了不同热处理温度对氧化钒薄膜的晶相特性与热敏特性的影响.实验分析证明热处理温度升高后(400℃)得到的薄膜热敏特性良好,其室温电阻为160KΩ·cm,室温电阻温度变化系数为-2.4％/℃,变温过程中(20～98℃)其平均值约-1.98％/℃,表明温度升高有利于改善薄膜热敏特性,在非制冷红外探测器应用方面具有发展潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	路远		34	257	10.0	15.0
3	乔亚		16	63	5.0	7.0
5	凌永顺		45	359	11.0	17.0
13	徐凯		10	46	4.0	6.0
17	唐聪		2	12	1.0	2.0