模拟离子刻蚀过程3维表面演化方法

• 作者: 宋亦旭 杨宏军 贾培发
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 离子刻蚀 元胞自动机 表面演化方法
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 计算机科学与技术
• 页码范围: 1350-1355
• 页数: 6页
• 分类号: TP391.9
• 语种: 中文

摘要

为了进一步研究刻蚀工艺机理来指导和优化刻蚀工艺,该文利用3维元胞自动机模型来实现表面演化方法,模拟等离子体刻蚀加工工艺,并着重探讨离子刻蚀过程的模拟.改进光线跟踪加速技术,提出了最近边界优先移动法实现刻蚀离子入射轨迹的计算;根据3维元胞自动机模型中表面演化特征,提出了一种邻域驱动拟合法来计算表面法线.实验结果表明,这些方法可以明显提高模拟方法的效率,满足快速仿真的要求.将该方法应用到实际硅刻蚀工艺的3维表面演化模拟,实验与模拟结果的对比也验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋亦旭		13	204	8.0	13.0
2	贾培发		38	746	15.0	26.0
3	杨宏军		1	0	0.0	0.0