论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 电子工业专用设备期刊 \
MOCVD 的原理与故障分析
MOCVD 的原理与故障分析
基本信息来源于合作网站，原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要：
介绍了MOCVD法的基本原理、生长步骤以及主要优缺点；并以某型号MOCVD设备为例，介绍了其主要结构组成，分析了影响MOCVD工艺的主要因素，结合维修经验总结了MOCVD的常见故障现象以及相应的解决方法。
推荐文章
基于WinCC的MOCVD监控系统的设计与实现
WinCC
MOCVD
C脚本
VBS
WinCC在MOCVD系统中的应用
组态软件WinCC
半导体材料生长
C脚本
VB脚本
MOCVD计算机控制系统的设计与实现
MOCVD
多线程
实时监控
BDE
基于PLC的MOCVD控制系统设计
PLC
MOCVD
计算机控制系统
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (5)
共引文献 (1)
参考文献 (2)
节点文献
引证文献 (3)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1997(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
1998(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2002(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2004(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2005(1)
- 参考文献（0）
- 二级参考文献（1）
2007(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2012(1)
- 参考文献（1）
- 二级参考文献（0）
2014(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
2016(2)
- 引证文献（2）
- 二级引证文献（0）
2019(1)
- 引证文献（1）
- 二级引证文献（0）
研究主题发展历程
节点文献
金属有机气相淀积
外延生长
故障分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
电子工业专用设备2021
电子工业专用设备2020
电子工业专用设备2019
电子工业专用设备2018
电子工业专用设备2017
电子工业专用设备2016
电子工业专用设备2015
电子工业专用设备2014
电子工业专用设备2013
电子工业专用设备2012
电子工业专用设备2011
电子工业专用设备2010
电子工业专用设备2009
电子工业专用设备2008
电子工业专用设备2007
电子工业专用设备2006
电子工业专用设备2005
电子工业专用设备2004
电子工业专用设备2003
电子工业专用设备2002
电子工业专用设备2001
电子工业专用设备2000
电子工业专用设备2014年第9期
电子工业专用设备2014年第8期
电子工业专用设备2014年第7期
电子工业专用设备2014年第6期
电子工业专用设备2014年第5期
电子工业专用设备2014年第4期
电子工业专用设备2014年第3期
电子工业专用设备2014年第2期
电子工业专用设备2014年第12期
电子工业专用设备2014年第11期
电子工业专用设备2014年第10期
电子工业专用设备2014年第1期
