化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

• 作者: 李焕勇 靳英坤
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Cu3Zn 合金微米杆 化学气相沉积 生长机制
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 1376-1380
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 3110字
• 语种: 中文

摘要

采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征.结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.1 ～5 μm之间,长度可达3～30μm.锌在铜锌合金微米杆的生长中起着至关重要的作用.铜锌合金微米杆的生长属于气固反应诱导下的气液固(VLS)生长机制,与经典的气液固(VLS)生长机制具有明显不同的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李焕勇	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	34	199	6.0	13.0
2	靳英坤	西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0