基于MEMS机构装配的微夹持器研究

• 作者: 包丽雅 张嘉易 董福禄 郝永平
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微装配 微夹持器 压电陶瓷 柔性铰链 非线性回归
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 596-601
• 页数: 6页
• 分类号: TP242.2
• 字数: 3570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2014.05.006

摘要

微夹持器作为末端执行装置,直接决定了微装配的效率.MEMS机构中包含许多微小的活动部件和功能元件,为实现这些微小器件的稳定夹取和自动装配,设计了一种采用压电陶瓷驱动、基于柔性铰链的二级放大微夹持器结构.对该微夹持器的节点应力、刚度及最大张合量等进行了分析计算,并对微夹持器进行了试制.实验与分析结果表明,该夹持器最大张合量是245μm,放大倍数约为12.3倍,满足MEMS机构的装配要求.在此基础上,重点对张合量与夹持力进行了系统测试,通过对测试数据的非线性回归,推导出99.99％可靠度的驱动电压计算公式,实现了微夹持的精确控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张嘉易	沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室	60	247	8.0	13.0
2	郝永平	沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室	170	586	11.0	17.0
3	包丽雅		2	21	2.0	2.0
4	董福禄	沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室	3	25	2.0	3.0