沉积参数对硬质合金基体微/纳米金刚石薄膜生长的影响

• 作者: 孙方宏 张建国 沈彬 王新昶
• 来源期刊: 中国有色金属学报（英文版）
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 WC-Co硬质合金基体 沉积参数
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 3181-3188
• 页数: 8页
• 字数: 338字
• 语种: 英文
• DOI: 10.1016/S1003-6326(14)63458-0

摘要

基体温度、反应压力和碳源浓度等沉积参数决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜的性能。运用正交试验方法，研究参数对硬质合金基体金刚石薄膜生长的综合作用。采用场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和拉曼(Raman)光谱检测薄膜的形貌结构、生长速率和成分。结果表明：随着基体温度的降低，金刚石形貌从锥形结构向团簇状结构转变；低反应压力有利于纳米金刚石薄膜的生成；生长速率受反应压力和碳源浓度综合作用的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙方宏	上海交通大学机械与动力工程学院	91	969	17.0	25.0
2	沈彬	上海交通大学机械与动力工程学院	69	959	17.0	27.0
3	王新昶	上海交通大学机械与动力工程学院	15	54	4.0	7.0
4	张建国	上海交通大学机械与动力工程学院	14	74	5.0	8.0