现代军用MEMS惯性传感器技术进展

• 作者: 李红光
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 惯性传感器 MEMS陀螺 MEMS加速计 MEMS惯性测量仪 小型惯性测量仪 集成光波导陀螺
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TH745|TN256|TN252|TN253
• 字数: 3765字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)08-0004-04

摘要

现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺（RLGs）、光纤陀螺（ FOGs）以及半球共振陀螺（ HRGs）。现在主要用于军事的还有微机电系统（ MEMS）陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤（ PCFs）的干涉光纤陀螺（ IFOGs），即PC-IFOGs。重点阐述MEMS/集成光（ IO）波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应，精确打击中的作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李红光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	44	3.0	6.0