热处理对CH薄膜表面粗糙度及力学性能的影响

• 作者: 何小珊 何智兵 刘浩 杜凯 贾晓琴 韦建军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 社会科学
• 关键词: 辉光放电聚合物 热处理 表面粗糙度 力学性能
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: ICF 与激光等离子体
• 页码范围: 102004-1-102004-5
• 页数: 1页
• 分类号: G3
• 字数: 2989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.102004

摘要

利用低压等离子体化学气相沉积法制备厚度约为7μm 的辉光放电聚合物薄膜,将制备的薄膜样品放入通有氩气保护的热处理炉中加热至300℃,分别进行6,10,24 h 的保温热处理。通过白光干涉仪观察分析了不同保温时间下辉光放电聚合物薄膜的表面粗糙度；利用傅里叶变换红外吸收光谱分析了300℃条件下不同保温时间对薄膜结构的影响；采用纳米压痕仪表征了不同保温时间热处理后,薄膜硬度及模量的变化。结果表明：随着保温时间的增加,薄膜的表面均方根粗糙度由12 nm降至4.43 nm。薄膜结构中甲基的相对含量减少,双键的相对含量增加,碳链变长,同时薄膜网络结构的交联化程度增强。硬度和模量随着保温时间的增加先减小后增大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜凯	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	72	527	11.0	19.0
2	韦建军	四川大学原子与分子物理研究所	57	239	8.0	12.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0
5	贾晓琴	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	10	2.0	2.0