光刻材料的发展及应用

• 作者: 庞玉莲 邹应全
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻技术 光刻材料 光刻胶 抗蚀剂 市场前景
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 36-51
• 页数: 16页
• 分类号: TQ31
• 字数: 11788字
• 语种: 中文

摘要

简述了光刻技术及光刻材料的发展过程及发展趋势,对光刻技术在集成电路和半导体分立器件的微细加工以及印刷电路板、平板显示器、触摸屏等制作过程中的应用进行了概述.并重点围绕光刻胶在集成电路制造中的应用,对其反应机理、应用性能等进行了阐述.同时还对光刻材料的市场特别是中国市场的现状及前景做了一定分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹应全	北京师范大学化学学院	39	169	5.0	11.0
2	庞玉莲	北京师范大学化学学院	5	30	2.0	5.0