应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备

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篇名	应用材料公司推出革命性的针对FinFET晶体管和3D NAND器件的电子束量测设备
来源期刊	电子工业专用设备	学科
关键词
年，卷（期）	2015,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	57-57
页数	1页	分类号
字数	1016字	语种	中文
DOI