基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性分析

• 作者: 冯丽爽 刘惟芳 姚保寅
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 静电刚度 灵敏度 微米光栅 加速度计
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 70-74,43
• 页数: 6页
• 分类号: U666.1
• 字数: 2200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2015.06.013

摘要

静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响.对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析.首先,建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型.其次,通过MATLBA仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系.最后,对理论分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V到2.05V等间隔变化时,加速度计的灵敏度由871mV/g变化为1148mV/g,分别相对于未加电时的灵敏度783mV/g提高了0.46dB到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度.本文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室	85	462	12.0	19.0
5	姚保寅	北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室	7	23	3.0	4.0
9	刘惟芳	北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室	2	5	1.0	2.0