沉积气压对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响

• 作者: 张臣 李云珂 杨明敏 王宇 陈泽昊 黄美东
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 杂化离子镀 TiCN薄膜 沉积气压 显微硬度 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 24-29
• 分类号: TG174.444|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.004

摘要

TiCN薄膜在刀模具领域有着广泛的应用前景,但它的结构和性能往往随制备工艺参数的不同而有较大差异.为了研究沉积气压对杂化离子镀TiCN薄膜结构和性能的影响,找到合适的Ar和N2分压比以优化工艺参数,采用杂化离子镀技术在高速钢、硅片以及不锈钢片表面制备TiCN薄膜,通过改变沉积过程中Ar和N2的分压获得不同的薄膜.用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、维氏硬度计、摩擦磨损仪、XP-2台阶仪对薄膜的物相结构、表面形貌、显微硬度、摩擦因数和沉积速率进行表征.结果表明:TiCN膜层择优生长方向主要表现为TiCN相的(111)晶面;试验中保持Ar分压为0.1 Pa不变,增加N2分压,即沉积气压增大,薄膜的显微硬度先升高再降低,对应摩擦因数先降低再升高,沉积速率不断减小最终趋于平缓,而表面形貌受沉积气压变化的影响很小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	陈泽昊	天津师范大学物理与材料科学学院	6	14	2.0	3.0
3	王宇	天津师范大学物理与材料科学学院	15	33	3.0	5.0
4	张臣	天津师范大学物理与材料科学学院	5	13	2.0	3.0
5	杨明敏	天津师范大学物理与材料科学学院	6	9	1.0	3.0
6	李云珂	天津师范大学物理与材料科学学院	6	50	5.0	6.0