基于柔性结构的大范围快速微位移工作台优化设计

• 作者: 刘俊标 李洋 殷伯华 靳鹏云
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 微位移工作台 柔性结构 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 37-42
• 分类号: TH742
• 语种: 中文

摘要

针对应用于快速原子力显微镜扫描器中的微位移工作台的大行程和高固有频率的需求,本文通过对微位移工作台的材质、压电驱动装置和位移传递机构的合理选择,采用有限元方法,对微位移工作台的输入位移、输出位移、耦合率、驱动力、固有频率等关键性能指标仿真优化,设计并制作出一种采用压电陶瓷驱动的,具有较大行程、较高固有频率和较小耦合位移的微位移工作台.经实验测试,研制的微位移工作台具有1.15kHz的固有频率、60μm的行程和小于5％的耦合位移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊标	中国科学院电工研究所	45	181	8.0	11.0
2	殷伯华	中国科学院电工研究所	24	94	6.0	8.0
3	靳鹏云	中国科学院电工研究所	15	21	2.0	3.0
4	李洋	中国科学院电工研究所	75	512	10.0	20.0