划片机冷却水罩对划切品质影响的研究

• 作者: 闫伟文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 划片机 冷却水罩 划切品质
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 35-36,55
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 706字
• 语种: 中文

摘要

系统地介绍了划片机的划切原理、冷却水罩对划切效果的影响、以及对划片机的冷却水罩对划切品质影响要素进行分析,并通过改进划片机的冷却水罩的结构提高了划片机的划切品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫伟文		3	14	2.0	3.0