Cr-Ti-N系多层膜成分及周期对抗冲蚀性能的影响

• 作者: 孟祥宇 金杰 陈蕴博 高克玮 黄晓林
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁过滤阴极真空弧 多层膜 交替周期 冲蚀性能
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 105-112
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.04.014

摘要

苛刻环境下发动机组件存在严重的固体颗粒(SPE)冲蚀,导致其可靠性降低.为研究多层膜成分及调制周期对膜层冲蚀性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源(MEVVA)和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355基材表面制备交替周期分别为5、13和26的3组CrNx/Tim Cr1-mN、TiNy/TimCr1-mN多层膜.采用微粒喷浆冲蚀试验机、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射仪(XRD)等对膜层冲蚀性能、形貌及物相结构进行测试表征.结果表明:采用该技术制备的CrNx/Tim Cr1-mN、TiNy/Tim Cn-mN多层膜结构致密、交替层变化明显.随着交替周期的增加,两体系多层膜的晶面间距减小,抗冲蚀性能得到提高,分别提高了8倍和20倍以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈蕴博	机械科学研究总院先进制造技术研究中心先进成形技术与装备国家重点实验室	22	158	6.0	11.0
2	高克玮	北京科技大学材料科学与工程学院	110	613	13.0	19.0
3	孟祥宇	北京机械工业自动化研究所电器物理设备与应用工程技术中心	13	25	4.0	4.0
4	金杰	北京机械工业自动化研究所电器物理设备与应用工程技术中心	9	38	5.0	6.0
5	黄晓林	北京机械工业自动化研究所电器物理设备与应用工程技术中心	4	12	2.0	3.0