高浓度氩气对金刚石膜的质量、晶粒尺寸和硬度的影响

• 作者: 吕琳 汪建华 王小安 翁俊
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 超纳米金刚石 氩气
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: O539|O484.4|TQ164
• 字数: 2671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2015.5.0005

摘要

为研究 Ar 浓度对金刚石膜的质量的影响，采用微波等离子体化学气相沉积法，以 Ar／H2／CH4为气源，通过改变反应气源中的 Ar 流量，在 P 型 Si（100）基片上分别沉积了不同晶粒尺寸的金刚石膜（微米、纳米以及超纳米）。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X 射线衍射仪、往复式摩擦磨损试验机等设备对金刚石薄膜的表面形貌、晶粒尺寸、薄膜质量、残余应力以及微观硬度等特性进行了分析。结果表明：随着 Ar 流量的增加，金刚石膜晶粒尺寸减小；由 G 峰漂移引起的拉应力先减小后增大；薄膜中非金刚石含量增加，硬度下降。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
4	吕琳	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	7	31	3.0	5.0
7	王小安	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	3	1.0	1.0