计算光栅零级衍射场的模态层吸收法

• 作者: 邓浩 陈树强 马磊
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 衍射 光栅 测试 严格耦合波分析 层吸收法
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 物理电子学
• 页码范围: 851-857
• 页数: 7页
• 分类号: O436.1
• 字数: 4015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2015.06.010

摘要

通过将严格耦合波分析的傅里叶展开过程与一种差分技术——层吸收法(SAM)的高斯消元迭代过程相结合，实现对任意复杂光栅零级衍射场的计算。在满足精度要求条件下，如果SAM所需网格数小于RCWA所需阶梯近似层数的两倍左右， SAM更高效；对于示例结构，相对于RCWA，SAM最高可以减少40%的计算时间。因此该方法具有辅助应用于集成电路纳米量级微结构分析/测试的价值。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈树强	电子科技大学物理电子学院	6	8	2.0	2.0
2	马磊	电子科技大学物理电子学院	2	2	1.0	1.0
3	邓浩	电子科技大学物理电子学院	5	9	2.0	2.0