光学系统中环形光源对半导体成像影响研究

• 作者: 季峥 岳芸 王兵锋 王宏智
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 环形光源 划片机 图像
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术与设备
• 页码范围: 19-21,52
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1168字
• 语种: 中文

摘要

以某国产200 mm(8英寸)砂轮划片机光学系统为例,以CCD为检测物并以国外进口同级别设备光学图像为参考标准.通过与进口设备对比,分析环形光源对成像的影响因素,研究应用几何光学原理,实现成像质量的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宏智		6	19	3.0	4.0
2	岳芸		4	4	1.0	1.0
3	王兵锋		4	11	2.0	3.0
4	季峥		3	9	2.0	3.0