硅基 MEMS 红外光源制造及其辐射特性研究

• 作者: 丑修建 孔龄婕 孙玉虹 曹嘉峰 王成 许卓 陈晓勇
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS红外光源 多晶硅 电光转化效率 驱动响应时间
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 光电材料与器件
• 页码范围: 276-280
• 页数: 5页
• 分类号: TN219
• 字数: 2332字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2015.03.010

摘要

结合现有微机电系统（MEMS）制造工艺加工设计了一种新型的硅基 MEMS 红外辐射光源，该光源采用辐射功能层悬浮结构，主要包括微米量级多晶硅辐射层、重掺杂单晶硅反射层、二氧化硅保护层、支撑层和金属电极层；采用硼离子注入技术对多晶硅辐射层进行掺杂改性，实现多晶硅辐射层良好的电阻加热和体辐射效应；采用光谱辐射计对 MEMS 红外光源辐射光谱进行测试，显示光谱辐射波段为2～14μm；光源驱动电压为5.8 V 时，电光转化效率达9.76％，光源开启时间约为20 ms，关断时间约为10 ms，总驱动响应时间为30 ms。