原子力显微镜中微悬臂梁分布参数系统的Hammerstein模型

• 作者: 徐康康 徐运扬
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 最小二乘向量机 Hammerstein模型 分布参数 系统辨识
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 304-311
• 页数: 8页
• 分类号: TP18
• 字数: 6720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2015.40589

摘要

为提高原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)中微悬臂梁分布参数模型的精度,本文提出了包含非线性时空特性的改进模型,在此基础上简化控制器的结构.首先加入非线性补偿项修正传统分布参数模型;然后采用Karhunen-Loève(K-L)方法提取系统主导空间基函数,实现系统输出的时空变量分离.利用求解得到的时间系数和系统激励,建立系统时域Hammerstein模型,使系统无限维偏微分方程模型转化为时域有限维常微分方程形式,控制器的设计无需考虑空间耦合的影响;最后,利用最小二乘支持向量机结合奇异值分解法辨识模型中的参数.与传统分布参数模型进行仿真和实验结果比较,验证了方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐康康	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	4	16	1.0	4.0
2	徐运扬	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	2	16	1.0	2.0