晶体硅表面Ag纳米颗粒形貌控制及其对黑硅性能的影响

• 作者: 夏金威 张磊 王苏尧 薛丹丹 贾淑婷 韩志达
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: Ag纳米颗粒 黑硅 反射率 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 520-524
• 页数: 5页
• 分类号: TB34
• 字数: 2760字
• 语种: 中文

摘要

采用湿法化学法在太阳能级Si(100)表面沉积Ag纳米颗粒,并对Ag颗粒进行了退火处理.利用扫描电子显微镜研究了不同沉积时间及退火工艺对硅片表面Ag纳米颗粒形貌的影响规律.在此基础上采用退火前后的Ag纳米颗粒辅助化学腐蚀法制备了黑硅减反射结构,并用扫描电子显微镜观察了所制备黑硅的微结构,用紫外-可见分光光度计研究了所制备黑硅的反射率.研究表明,制备的Ag颗粒为不规则片状结构,并且随Ag沉积时间的延长,Ag颗粒逐渐长大.通过对样品退火处理,Ag颗粒收缩成球状纳米颗粒.利用未退火的Ag颗粒制备的黑硅呈不规则纳米线状微结构,在300 ～ 1100 nm范围内平均反射率为2.7％;而利用退火后球状Ag纳米颗粒制备的黑硅则呈多孔状微结构,同样波长范围内平均反射率为14.2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张磊	常熟理工学院物理与电子工程学院	26	40	3.0	5.0
2	韩志达	常熟理工学院物理与电子工程学院	21	53	4.0	7.0
3	夏金威	常熟理工学院物理与电子工程学院	5	1	1.0	1.0
4	贾淑婷	常熟理工学院物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
5	王苏尧	常熟理工学院物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0
6	薛丹丹	常熟理工学院物理与电子工程学院	1	0	0.0	0.0