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五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析
五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析
作者:
张学军
戚二辉
李明
罗霄
郑立功
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
测量
光学检测
五棱镜扫描系统
光线矢量追迹
误差分析
摘要:
五棱镜扫描检测具有结构简单、检测周期短等优点,可以实现大口径平面镜低阶像差的高精度检测,是指导大口径平面镜光学加工过程的一种有效途径。为使大口径平面镜检测系统中的五棱镜扫描技术更加完善,通过理论分析和计算模拟,对五棱镜检测系统中的主要误差源,包括五棱镜制造误差、温度梯度的影响、元件位置误差、光束定位误差、自准直仪测量误差等进行研究,形成了比较完善的误差分析的数理结果。计算结果表明,在当前实验室技术条件下,五棱镜扫描检测系统在单个测量点处的测量不确定度达到230 nrad,其中影响五棱镜检测系统测量精度的主要因素为自准直仪的测量精度与温度的影响。研究结果给出了工程实际中提高五棱镜扫描系统检测精度与减小测量误差的注意事项,并可用于指导系统设计时的误差分析及精度分配。
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光学设计
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内容分析
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相关学者/机构
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文献信息
篇名
五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析
来源期刊
红外与激光工程
学科
工学
关键词
测量
光学检测
五棱镜扫描系统
光线矢量追迹
误差分析
年,卷(期)
2015,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
639-646
页数
8页
分类号
O439|TH741
字数
5152字
语种
中文
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红外与激光工程
主办单位:
天津津航技术物理研究所
中国光学工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1007-2276
CN:
12-1261/TN
开本:
大16开
出版地:
天津市空港经济区中环西路58号
邮发代号:
6-133
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
9150
总下载数(次)
41
总被引数(次)
72012
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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