光学薄膜微细结构制造方法新进展

• 作者: 彭林法 易培云 来新民
• 来源期刊: 科学通报
• 关键词: 光学薄膜 微细结构 紫外光固化 热压印 卷对卷
• 年，卷（期）: 2015,（28）
• 所属期刊栏目: 特邀评述
• 页码范围: 2707-2718
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N972014-01365

摘要

带有表面微细结构的光学薄膜可有效提高出光效率或光线利用率,有望大规模应用于柔性显示器和薄膜太阳能电池等光学器件.这类三维功能结构尺度在微米或亚微米范畴,其形状精度、结构缺陷、残余应力等几何特性和物理性能综合影响光学薄膜质量.紫外光固化(UVcuring)和热压印(hot embossing)成形是光学薄膜微细结构制造的主要方法.本文综述了两种制造方法的主要进展,包括成形工艺、模具制造和成形装备等,这些研究成果的获得对光学薄膜的设计与制造具有重要意义.目前,尚需进一步阐明制造过程中材料流动规律和缺陷形成机理,形成控形控性新方法,指导光学薄膜微细结构的高效、高精度制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	来新民		139	2022	23.0	39.0
2	易培云		10	13	2.0	3.0
3	彭林法		25	84	6.0	9.0