单晶金刚石微杯形谐振子的激光刻蚀制造方法

• 作者: 何汉辉 侯占强 吴学忠 李微 肖定邦
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶金刚石 微杯形谐振子 激光刻蚀 制造方法
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微/纳米制备与测量技术
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TH703
• 字数: 673字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024102

摘要

基于激光刻蚀技术,提出了一种新型单晶金刚石微杯形谐振子的三维制造方法.由于高弹性模量、低热弹性阻尼以及较大的声波传递速度等优异的性质,单晶金刚石是一种理想的谐振子加工材料,但是金刚石硬度大且化学性能稳定,难以采用传统的加工方法成形加工.激光刻蚀因精度高,加工结构对称性好以及破损率低等特点,是一种较好的单晶金刚石加工方法.采用紫外激光加工机,研究了不同激光参数对单晶金刚石刻蚀质量的影响,通过合理设计微杯形谐振结构,规划激光刻蚀加工的轨迹,采用优化后激光刻蚀参数,实现了结构对称性较好的微杯形谐振子的加工,有望应用于高性能微杯形谐振陀螺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯占强	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	61	4.0	7.0
2	肖定邦	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	151	6.0	12.0
3	吴学忠	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	29	199	7.0	13.0
4	何汉辉	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	4	8	2.0	2.0
5	李微	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	2	1.0	1.0