绝对式光栅尺细分误差补偿方法

• 作者: 乔栋 刘阳 吴宏圣 孙强 曾琪峰 续志军
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 细分误差 傅里叶分析 绝对式光栅尺 叠栅条纹
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 212-217
• 页数: 6页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.0112008

摘要

为了提高绝对式光栅尺的细分精度,提出了一种细分误差补偿方法.对绝对式光栅尺A、B两路叠栅条纹信号进行傅里叶分析,建立叠栅条纹信号模型;对信号模型中的相位、振幅、谐波、直流分量进行校正,得到理想叠栅条纹信号的模型;对比实际信号模型和理想信号模型的细分位置,得到绝对式光栅尺的细分误差;根据该误差对细分值进行补偿,提高细分精度.通过使用JC09型绝对式光栅尺对该方法进行验证,可使其细分相对误差从2.70％降低到1.05％.实验结果表明,该方法能够有效地提高绝对式光栅尺细分精度,且该方法具有原理简单、易于实现的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	204	1641	20.0	28.0
2	续志军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	44	572	14.0	22.0
3	刘阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	104	1053	18.0	29.0
4	乔栋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	58	3.0	5.0
5	吴宏圣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	364	10.0	19.0
6	曾琪峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	53	2.0	3.0