SOI微环谐振腔测试信号纹波噪声的分析

• 作者: 张安富 张文栋 李明慧 薛晨阳 闫树斌 马可贞 骆亮
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微环谐振腔 多光束干涉 纹波 光栅
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微传感器和执行器
• 页码范围: 108-112
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024121

摘要

基于绝缘体上硅材料(SOD的微环谐振腔作为各种集成微光学器件的核心部件,其传输特性的好坏直接决定微光学器件的性能优劣.结合微环谐振腔理论和多光束干涉原理对微环谐振腔测试信号中纹波的产生原因和影响因素进行了分析,通过耦合实验测试得到了纹波信号的特征参数并进行了分析,实验结果与仿真分析吻合.进一步分析了耦合光栅刻蚀深度对纹波幅值的影响及原因,为微环谐振腔结构参数的进一步优化和微环谐振腔传感系统误差分析提供了依据.