Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究

• 作者: 吴飞斌 唐锋 李思坤 李杰 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 Ronchi剪切干涉 相位提取 波像差检测 光刻投影物镜
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 283-290
• 页数: 8页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0308008

摘要

Ronchi剪切干涉采用扩展光源调制光场空间相干性,具有干涉仪结构简单、共光路、零条纹检测等优点,适合用于光刻机投影物镜波像差原位检测.基于Ronchi剪切干涉的投影物镜波像差检测技术及系统,根据光栅衍射和空间相干性理论推导了Ronchi剪切干涉场的表达式.针对Ronchi剪切干涉仪多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响,提出了一种十步相移算法,有效地消除±9级以内多级衍射的影响,理论上相位提取误差峰谷(PV)值为0.0046λ,均方根(RMS)值为0.0019 λ,实验数据验证了理论推导的正确性和相位提取算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	125	1027	17.0	27.0
2	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
3	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
4	李思坤	中国科学院上海光学精密机械研究所	25	3	1.0	1.0
5	吴飞斌	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	3	1.0	1.0