高质量高取向（100）面金刚石膜的可控性生长?

• 作者: 刘聪 汪建华 翁俊
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 金刚石膜 化学气相沉积 取向 质量
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 28101-1-28101-8
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.64.028101

摘要

应用微波等离子体化学气相沉积技术，在低气压下对(100)晶面金刚石膜的表面形貌、质量、取向和生长率进行了可控性生长研究.结果表明：基片温度与甲烷浓度对(100)晶面金刚石膜的生长存在耦合规律.为了获得表面形貌相似的(100)晶面金刚石膜，在沉积过程中，增加碳源浓度的同时需要同时升高基片温度；当甲烷浓度为3.0%，基片温度从740?C上升至1100?C的过程中，金刚石膜的晶面取向变化可分为五个阶段，其中当基片温度在860?C至930?C时，很适合高取向(100)晶面金刚石膜生长；另外，金刚石膜的质量和生长速率分别与基片温度和甲烷浓度成正比.为了获得高质量高取向(100)晶面金刚石膜，应当选择合适的基片温度和甲烷浓度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
3	刘聪	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	15	2.0	3.0
4	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0