特性气体输送面板、电路板温控箱的设计

• 作者: 李晶 陈虹
• 来源期刊: 建筑工程技术与设计
• 关键词: 可再生资源 半导体 温度 温控箱等
• 年，卷（期）: 2015,（33）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 1904,1902
• 页数: 2页
• 字数: 2037字
• 语种: 中文

摘要

随着全球性的环境污染、能源短缺等问题日益严重,一些可再生资源的利用成为必需途径,半导体、芯片、太阳能的开发利用是目前可再生资源的主要发展方向.在制作半导体、芯片等过程中无时无刻不在使用着危险性气体,而这些承载特性气体的管路、气体面板以及焊接PCB板对于温度也有极为严格的要求.对于温度的高度要求,温度控制箱的研发也迫切需要,温控箱可以使得操作人员在安全的地方按照相应的设备需求设定一级二级温度,并且能够给予操作人员温度提示、报警提示.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈虹		4	6	2.0	2.0
2	李晶		1	0	0.0	0.0