MEMS热膜壁面剪应力传感器标定技术研究现状

• 作者: 孙海浪 沈雪 田于逵 谢华 黄欢
• 来源期刊: 传感器技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 热膜 壁面剪应力传感器 标定
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TP2

摘要

流体壁面剪应力的测量对于流动减阻,湍流结构机理研究等方面都具有重要的作用,MEMS壁面剪应力传感器为壁面剪应力的测量提供了一种准确有效的手段。首先介绍了热膜型的MEMS壁面剪应力传感器的测量原理及发展现状;其次着重分析了热膜型的MEMS壁面剪应力传感器的静态和动态标定方法,静态标定方法可分为基于速度,基于流量和基于压力的方法,动态标定方法通常采用斯托克斯层激励方法;最后对标定技术进行了归纳总结及展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田于逵		28	76	5.0	8.0
2	谢华		24	131	6.0	11.0
3	沈雪		7	10	2.0	3.0
4	孙海浪		7	9	2.0	3.0
5	黄欢		4	9	2.0	3.0