基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计

• 作者: 陈兴林 陈震宇
• 来源期刊: 天津工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分数阶PID控制 内模控制 控制系统设计 直线电机 光刻机
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 电子信息与自动化
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TP391
• 字数: 4018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-024x.2016.01.012

摘要

为了对长行程直线电机进行精确伺服控制,提出了一种结合分数阶PID及内模控制原理的控制系统.以内模控制器作为电流环控制器、分数阶PID作为位置环控制器,在简化了控制器设计、降低调试难度的同时,保证了跟踪精度.最后,对长行程直线电机驱动的光刻机掩模台宏动台进行了仿真验证,验证了所提出的控制策略的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈兴林	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	164	1267	18.0	24.0
2	陈震宇	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	1	1	1.0	1.0