假栅P区互联对沟槽栅IGBT性能的影响

• 作者: 余伟 刘国友 杨鑫著 罗海辉 肖强 谭灿健 黄建伟
• 来源期刊: 机车电传动
• 学科: 工学
• 关键词: 沟槽栅IGBT 假栅P区 空穴浓度 安全工作区 关断dV/dt
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究开发
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TN34
• 语种: 中文
• DOI: 10.13890/j.issn.1000-128x.2016.03.010

摘要

基于假栅条形元胞设计与200 mm(8英寸)沟槽栅成套关键工艺,成功研制1 700 V沟槽栅IGBT.通过Silvaco仿真与衬板测试,对比研究了假栅P区互联方式对器件的动静态特性与安全工作区的影响.与假栅P区接地方案相比,假栅P区浮空时器件导通与开关损耗更低、RBSOA能力更强.分析了假栅P区互联方式对器件性能的影响机理.器件采用假栅P区浮空方案,结合场截止与载流子存储技术,具有良好的综合性能,已通过各项验证,即将进行应用考核.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余伟		3	0	0.0	0.0
2	罗海辉		4	0	0.0	0.0
3	刘国友		6	0	0.0	0.0
4	杨鑫著		2	0	0.0	0.0
5	肖强		3	0	0.0	0.0
6	谭灿健		3	0	0.0	0.0
7	黄建伟		1	0	0.0	0.0